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潔凈室的起源可以追溯到18世紀(jì)的歐洲醫(yī)學(xué)。當(dāng)時(shí),為了降低手術(shù)感染率,醫(yī)生們開始對手術(shù)部位進(jìn)行酒精消毒,并采取其他一些措施來減少手術(shù)室的細(xì)菌數(shù)量。這就是早期潔凈室概念的萌芽。
到了20世紀(jì),隨著科技的發(fā)展和戰(zhàn)爭的需要,潔凈室的概念逐漸得到廣泛應(yīng)用。特別是在美國,由于在朝鮮戰(zhàn)爭時(shí)期,美國軍隊(duì)發(fā)現(xiàn)雷達(dá)等電子儀器故障率奇高,每年維護(hù)費(fèi)甚至超出原價(jià),原因就在于工廠生產(chǎn)環(huán)境不清潔導(dǎo)致零部件可靠性差,質(zhì)量不穩(wěn)定。后來在生產(chǎn)車間引入高效空氣過濾器后方解決問題,這就是現(xiàn)代潔凈室的誕生。
到了1970年代,集成電路、大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路等開始蓬勃發(fā)展,潔凈技術(shù)也開始快速發(fā)展。從1990年代開始至今,半導(dǎo)體技術(shù)飛速發(fā)展,精度不斷提高,對生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度提出了新的要求,潔凈技術(shù)開始騰飛。我國在20世紀(jì)50年代末開始,研究應(yīng)用潔凈技術(shù),并逐步從軍工走向民用。雖然國內(nèi)引進(jìn)潔凈室屬于比較晚的,但一經(jīng)引進(jìn)也得到快速的發(fā)展,現(xiàn)如今,食品、電子、醫(yī)藥、精密機(jī)械等行業(yè)都出現(xiàn)了潔凈室的身影。
目前,潔凈室已經(jīng)成為半導(dǎo)體集成電路制造環(huán)節(jié)中重要的一環(huán),直接決定了產(chǎn)品的成敗。同時(shí),潔凈室在電子、光學(xué)、醫(yī)療、制藥、食品及生化等行業(yè)也得到了廣泛應(yīng)用。由于不同產(chǎn)品不同行業(yè)對于潔凈度的要求存在著較大的區(qū)別,所以潔凈室也是出現(xiàn)了各種標(biāo)準(zhǔn),比方說ISO標(biāo)準(zhǔn),美聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)等。潔凈室在醫(yī)藥行業(yè)的應(yīng)用也是得到廣泛的應(yīng)用的,為此,還有專門的醫(yī)藥潔凈度標(biāo)準(zhǔn),也就是gmp標(biāo)準(zhǔn),可將潔凈車間分為ABCD四個(gè)等級。總之,潔凈室和我們生活的方方面面有著千絲萬縷的關(guān)系,未來,也將發(fā)揮更重要的作用。
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