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層流罩乃是潔凈室中能夠?qū)⒉僮鲉T與產(chǎn)品進行屏蔽隔離的設(shè)備當中的一種,其主要的用途在于極力避免產(chǎn)品遭受污染,而層流罩的氣體流向是相對比較特殊的。接下來為大家進行詳細的介紹。
層流罩主要是由箱體、風機、高效空氣過濾器、阻尼層、燈具等等部件所組成。它是從潔凈室當中吸取空氣,然后借助于頂部增壓艙里面安裝的風扇作為動力,通過 HEPA 過濾垂直穿過操作區(qū)域,從而為關(guān)鍵區(qū)域提供達到 ISO 5(級別 100)的單向流空氣。產(chǎn)生的廢氣則是從下面排出,重新返回潔凈室區(qū)域。
潔凈室層流罩的氣體流向具體為:首先從潔凈室吸取空氣,接著采用頂部增壓艙里安裝的風扇充當動力來源,然后空氣通過 HEPA 高效過濾器進行過濾,之后垂直穿過操作區(qū)域,進而為關(guān)鍵區(qū)域提供 ISO 5(級別 100)的單向流空氣,最后廢氣從底部排出,再度返回潔凈室區(qū)域。
在整個過程當中,空氣以特定的風速通過高效過濾器進行過濾之后,進而形成均流層,促使?jié)崈艨諝獬尸F(xiàn)出垂直單向流動的態(tài)勢,如此一來便有力地保證了工作區(qū)內(nèi)能夠達到工藝所要求的潔凈度。
潔凈室層流罩實現(xiàn)氣體分布的方式呈現(xiàn)如下情況:
1、充分利用層流的原理,將進入設(shè)備的空氣極為均勻地分布在工作面上,進而形成一層潔凈的空氣層。
2、空氣以既定的風速通過高效過濾器進行過濾之后,再經(jīng)過阻尼層進行均壓處理,使得潔凈空氣呈現(xiàn)出單向流的狀態(tài)送往工作區(qū),以此來獲取工作保護區(qū)所需要的流型和潔凈度。
3、這樣的設(shè)計能夠行之有效地將操作員與產(chǎn)品進行屏蔽隔離,切實避免產(chǎn)品受到污染。
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