芯片潔凈車間裝修工程的靜電和靜電的消除

芯片潔凈車間裝修工程的靜電和靜電的消除

（一） 靜電的危害

1、 靜電產(chǎn)生電場(chǎng)能擊穿電子和微電子產(chǎn)品造成廢品； 靜電放電產(chǎn)生電磁波會(huì)引起電子儀器（計(jì)算機(jī)和控制設(shè)備） 的誤動(dòng)作， 放電產(chǎn)生火花可使感光材料曝光。

2、 潔凈室內(nèi)靜電的帶電體， 灰塵會(huì)依附在其表面， 成為潔凈室的污染源， 影響潔凈室的潔凈度。

3、 潔凈室的靜電聚集放電會(huì)誘發(fā)引起火災(zāi)和爆炸影響潔凈室的安全。 因?yàn)?a href="http://m.my-marathon.cn/shows/43/87.html" target="_blank" title="凈化車間" style="color: rgb(192, 0, 0); text-decoration: underline;">凈化車間內(nèi)生產(chǎn)會(huì)使用大量的易燃易爆的氣體， 溶劑和有機(jī)物， 潔凈室封閉性很強(qiáng)， 人員疏散較困難造成火災(zāi)， 損失更大。

（二） 靜電的起因

由于某種原因引起電荷移動(dòng)， 正負(fù)電荷失去平衡， 這樣物體就帶有靜電， 造成電荷移動(dòng)的因素主要有：

1、 接觸帶電： 其中還包括有磨擦帶電、 滾動(dòng)帶電、 剝離帶電、 噴射帶電等。

2、 感應(yīng)帶電

3、 流動(dòng)帶電

4、 電暈帶電

（三） 防靜電措施

1、 無塵車間圍護(hù)的防靜電： 即用高導(dǎo)電率材料來建造潔凈室的圍護(hù)（墻、 頂、 地） 地面要采用由電阻值為 104~106 Ω 導(dǎo)靜電材料或電阻值為 106~109Ω 的抗靜電材料制作。 主要有良好的接地。墻和頂要采用表面電阻值為 10~10Ω 的鋁蜂窩或巖棉彩鋼板等金屬材料制作。 并要有良好的接地。

2、 人員的防靜電： 潔凈室的作業(yè)人員要穿防靜電的潔凈工作服， 在衣服的織物中加入金屬纖維、 碳素纖維等導(dǎo)電材料。 必要時(shí)作業(yè)人員手腕上配帶接地腕環(huán)。

3、 生產(chǎn)工藝允許時(shí)還可以用提高潔凈室內(nèi)空氣的相對(duì)濕度的辦法來消除靜電。

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