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電子潔凈車間的空間規(guī)劃設(shè)計(jì)
電子潔凈車間空間管理是把設(shè)計(jì)概念用于合理地布置廠房里豎向的和橫向的公用設(shè)備和工藝設(shè)備以及管道、風(fēng)管、電纜橋 架和其它的動(dòng)力系統(tǒng)。空間管理概念貫穿整個(gè)設(shè)計(jì)和施工建造過程,通過各組成部分的路線和標(biāo)高引導(dǎo)設(shè)計(jì)進(jìn)程??刂剖┕ぐ惭b盡量 避免公用設(shè)施系統(tǒng)的各組成設(shè)備以及服務(wù)路線的沖突,為潔凈車間合理規(guī)劃設(shè)計(jì)提供理論和實(shí)踐依據(jù)。
1 .潔凈車間工程項(xiàng)目空間管理概述
整個(gè)工程項(xiàng)目分為主建筑廠房和輔助的動(dòng)力房。各種動(dòng)力都來自動(dòng)力房 供給主廠房生產(chǎn)設(shè)備使用。管橋連接動(dòng)力房和主廠房。管橋?yàn)楦鞣N動(dòng)力系統(tǒng)的 主管道提供通道。支持區(qū)的標(biāo)高:2層樓板下300inm是消防管道區(qū)域,在消防管 道區(qū)域下面450mm是二次配管區(qū)域,在二次配管區(qū)域下面700mm是南 北走向的支管區(qū)域。
2 .潔凈車間空間規(guī)劃設(shè)計(jì)
2.1主廠房和規(guī)劃設(shè)計(jì)
FAB包含兩個(gè)潔凈車間,分別在一層支持區(qū)和二層的TFT/FE區(qū)。潔凈車間的新風(fēng)來自新風(fēng)機(jī)房的主新風(fēng)管,支管從主管上下來送新風(fēng)到干盤管前面和回風(fēng) 混合后再送到潔凈車間上方,然后空氣通過位于潔凈車間吊頂上的FFU高效過濾器 做最終的過濾后進(jìn)入潔凈車間?;仫L(fēng)通過干盤管冷卻和來自新風(fēng)機(jī)主風(fēng)管的新 風(fēng)混合。整個(gè)氣流組織過程包含這兩個(gè)潔凈車間。
MODULE包含兩個(gè)潔凈車間。一個(gè)是一層的封裝、灌裝、劃線、測(cè)試和包裝區(qū) 域,潔凈室的新風(fēng)來自新風(fēng)機(jī)房的主新風(fēng)管。支風(fēng)管從主風(fēng)管下來送新風(fēng)到循 環(huán)風(fēng)機(jī)前面和回風(fēng)混合后經(jīng)潔凈室吊頂上的HEPA高效過濾器進(jìn)入潔凈室。另 一個(gè)是二層MODULE區(qū),潔凈室氣流組織概念和FAB潔凈室相似。
2.2動(dòng)力系統(tǒng)分布規(guī)劃
動(dòng)力系統(tǒng)供應(yīng)主要在FAB潔凈室的支持區(qū)。每個(gè)動(dòng)力系統(tǒng)包含主路和主支路,在這個(gè)潔凈車間里,動(dòng)力系統(tǒng)被分為5個(gè)主支路。支路是從主支路到生產(chǎn)設(shè)備。主路南北走向位于支持區(qū)兩邊。
2.3潔凈車間的排風(fēng)系統(tǒng)規(guī)劃
潔凈車間的排風(fēng)集中在支持區(qū)的風(fēng)管內(nèi),然后穿過西邊的墻到服務(wù)建筑的 屋頂?shù)闹黠L(fēng)管。VOC系統(tǒng)、CVD系統(tǒng)、酸排風(fēng)系統(tǒng)、堿排風(fēng)系統(tǒng)的洗滌塔位于服務(wù)建筑屋頂。FAB潔凈車間的排煙風(fēng)管位于潔凈車間吊頂上方,匯集到主排煙風(fēng)管后再接到位于服務(wù)建筑屋頂?shù)呐艧燂L(fēng)機(jī)。在回風(fēng)通道里,當(dāng)排煙風(fēng)管穿過兩個(gè)筑及濱水界面提出控制原則,以形成富有濱河特色的城市景觀形象
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