百級(jí)潔凈車間裝修公司對(duì)通風(fēng)設(shè)備噪聲的控制

2020-10-14 08:41 昆山清陽(yáng)凈化系統(tǒng)工程有限公司

百級(jí)潔凈車間裝修公司對(duì)通風(fēng)設(shè)備噪聲的控制

超大規(guī)模集成電路技術(shù)的迅速發(fā)展，促使工藝對(duì)圓片生產(chǎn)環(huán)境提出更高的要求。尤其是隨著集成度的增加，圓片加工次數(shù)的增多，圓片受污染的可能性也在成倍增加。加之圓片的加工尺寸已進(jìn)入亞微米時(shí)代，加工環(huán)境受控微粒的特征尺寸已隨之細(xì)化，圓片成品率對(duì)環(huán)境潔凈度的依賴性日趨加強(qiáng)。據(jù)分析，圓片的成品率與圓片的缺陷密度息息相關(guān)，而圓片的缺陷密度又與空氣中的粒子個(gè)數(shù)有關(guān)。因此，控制生產(chǎn)環(huán)境中特征尺寸的微粒個(gè)數(shù)顯得十分重要。本文對(duì)百級(jí)潔凈車間通風(fēng)設(shè)備噪聲控制進(jìn)行了探討。

什么是潔凈車間技術(shù)？，可以把潔凈車間技術(shù)分成三大范疇。這些范疇與潔凈車間用戶對(duì)技術(shù)的應(yīng)用是對(duì)應(yīng)的， 即從他決定建造潔凈車間開(kāi)始，最后到潔凈車間運(yùn)行為止。 

百級(jí)潔凈車間通風(fēng)設(shè)備的選擇 

其中，Z 為局部阻力損失，P a；ξ為局部阻力系數(shù)；υ 為空氣流速，m/s；ρ為空氣密度，k g/m3。 

高效過(guò)濾器的實(shí)際壓力損失為額定壓力損失的 0.4322 倍，即初阻力為 34.7 Pa，終阻力為 69.4 Pa。所以，在選擇循環(huán)風(fēng)機(jī)時(shí)，在滿足了風(fēng)量要求的前提下，風(fēng)機(jī)全壓可大幅度減少，自然風(fēng)機(jī)噪聲及耗電量也就降低了。

潔凈車間控制噪音的方法：

控制設(shè)備噪聲首先應(yīng)從聲源上著手，設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)選用低噪聲設(shè)備。在某些情況下，由于技術(shù)或經(jīng)濟(jì)的原因而難于做到時(shí)，則應(yīng)從噪聲傳播途徑上來(lái)采取降噪措施。例如，把高噪聲工藝設(shè)備遷出潔凈室或隔離布置于隔聲間內(nèi)。必須置于潔凈室內(nèi)的高噪聲設(shè)備，亦可采用隔聲罩隔絕噪聲。國(guó)內(nèi)有些潔凈室將機(jī)械泵一類高噪聲設(shè)備置于潔凈室外套間，或技術(shù)夾道或服務(wù)區(qū)內(nèi)，潔凈室噪聲有明顯的降低。 

潔凈車間的靜態(tài)噪聲主要來(lái)源于凈化空調(diào)系統(tǒng)和局部?jī)艋O(shè)備運(yùn)行噪聲，靜態(tài)噪聲的大小與潔凈室氣流流型、換氣次數(shù)等因素有關(guān)。但關(guān)鍵在于凈化空調(diào)系統(tǒng)的合理布置及合理的降噪措施。