電子半導(dǎo)體潔凈廠房內(nèi)是如何防靜電的

2021-04-28 13:15 昆山清陽凈化系統(tǒng)工程有限公司

電子半導(dǎo)體潔凈廠房內(nèi)是如何防靜電的

一直以來接到不少客戶對生產(chǎn)車間進(jìn)行防靜電防護(hù)改良咨詢，現(xiàn)跟大家分享一下多年來的經(jīng)驗(yàn)，但愿這些方案能給大家?guī)韼椭缬胁蛔阒幷垇黼娚逃憽?/span>

一、 防靜電目的：防止靜電放電對 ESD 器件的損傷。表現(xiàn)在如下幾個方面：

- 靜電放電 (ESD)引起發(fā)光二極管 PN 結(jié)的擊穿，是LED器件封裝和應(yīng)用組裝工業(yè)中靜電危害的主要方式。

- 靜電放電可能造成 LED突發(fā)性失效或潛在性失效。

- LED極為精細(xì)，失效分析難度大，使人容易誤把靜電損傷失效當(dāng)作其它失效 ,從而不自覺的掩蓋了失效的真正原因。

- ESD以極高的強(qiáng)度很迅速地發(fā)生，放電電流流經(jīng)LED的PN結(jié)時，產(chǎn)生的焦耳熱使芯片PN兩極之間局部介質(zhì)熔融，造成PN結(jié)短路或漏電。

二、 無塵車間內(nèi)防靜電系統(tǒng)的建立：

硬件系統(tǒng)：

－ 人體靜電防護(hù)：人體配有繩防靜電腕，良好接地，每天定期測試有效性能。檢查靜電腕與人體皮膚良好接觸， 接地端與地線良好接觸。

－ 設(shè)備靜電防護(hù) : 機(jī)臺、設(shè)備、工具良好接地線（不可與人體靜電地線共用，防止機(jī)臺、設(shè)備、工具漏電電擊人員） 。

－ 設(shè)立 EPA 防護(hù)區(qū) :

防靜電區(qū)設(shè)計原則抑制靜電荷的積累和靜電壓的產(chǎn)生。如設(shè)備、儀器、工裝不使用塑料、有機(jī)玻璃、普通塑料袋。

1 . 安全、迅速有效地消除已產(chǎn)生的靜電荷，使用有繩防靜電腕防靜電椅、車、箱。

2. 地面 防靜電地面，(防靜電水磨石， 防靜電地板 )1 0^5 Ω ～ 1 0^1 0 Ω ， 敷設(shè)地線網(wǎng)。

3.工位 臺面、 工作椅、 凳面應(yīng)采用 ESD 保護(hù)材料。

4. 人體 穿防靜電服、 鞋、 腕等 (1 M) 。

5. 電子潔凈車間內(nèi)接地設(shè)置：

a、 防靜電工作區(qū)必須有安全可靠的防靜電接地裝置，地電阻小于4。防靜電地線不得與電源零線相接，不得與防雷地線共用，使用三相五線制的供電時，其地線可以作防靜電地線。

b、 工作臺面、地板墊、坐椅、凳和其它導(dǎo)靜電的 ESD 保護(hù)措施均應(yīng)通過限流電阻接到地線，腕帶等應(yīng)通過工作臺頂面接地點(diǎn)與地線連接， 工作臺不可相互串聯(lián)接地。

c、 防靜電工作區(qū)接地系統(tǒng)，包括限流電阻和連接端子應(yīng)連接可靠并具有一定載流能力，限流電阻阻值選擇應(yīng)保證漏泄電流不超過 5mA，下限值取為 1 M Ω 。

6. 環(huán)境：空氣濕度的控制，小于60%時，須加強(qiáng)防靜電操作系統(tǒng)。工作臺面防靜電桌布良好接地，定期檢查有效性。

7. 電離器：不能有效地泄放靜電荷的場合，可采用電離器通過空氣中的正負(fù)離子來防止和中和元器件和其它物體上電荷 積累，電離能力大于250V/s。

8. 增濕：增濕器可使潮濕空氣流，防止靜電荷積累，此法不適；增濕后產(chǎn)生有害影響的場地。

9. 包裝：靜電敏感器件應(yīng)采取保護(hù)性包裝；靜電敏感器件包裝器具必須采用防靜存放盒， 防靜電塑料袋。

1 0. 運(yùn)輸、貯存 SSD必須放在防靜電容器 (箱、袋 )內(nèi)，并用防靜電運(yùn)輸工具(車)。庫房滿足防靜電操作系統(tǒng)要求，SSD須放防靜電容器內(nèi)，貯運(yùn)中要遠(yuǎn)離靜電，電磁場或放射場的位置。

1 1 、SSD 元器件應(yīng)分類拿放，靜電敏感符號符號符合 GJB1649 規(guī)定。

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