無塵車間裝修方案中FFU起到的作用

2021-01-18 08:39 昆山清陽凈化系統(tǒng)工程有限公司

無塵車間裝修方案中FFU起到的作用

FFU ， 是一個自帶送風(fēng)機（無殼風(fēng)機） 的高效過濾器送風(fēng)口， 它與其專用龍骨系統(tǒng) 、 冷卻盤管（一般為干盤管） 、 加壓風(fēng)機、 新風(fēng)系統(tǒng)以及專用燈具共同組成了 FFU 系統(tǒng)。 FFU 的使用方式是,新風(fēng)有新風(fēng)空調(diào)機處理至所需狀態(tài)點后送入,在靜壓箱內(nèi)與回風(fēng)混合后經(jīng) FFU 的風(fēng)機加壓后經(jīng) HEPA 或 ULPA 送入室內(nèi),再經(jīng)架空地板或側(cè)墻回至干盤管,在此經(jīng)冷(熱)處理后經(jīng)由回壓機送回至靜壓箱完成循環(huán)。 這樣的系統(tǒng)最為常用于有超靜要求的潔凈室， 如大型集成電路晶圓的制造、 尖端顯示器如 TFT、 PDP 等的制造、 硬盤的制造等。 其優(yōu)點如下:

1、 系統(tǒng)非常靈活， 可隨時調(diào)整

因凈化車間的壁板都以天花板格子的模數(shù)（如１ ２ ０ ０ ＊ ６ ０ ０ ） 來布置， 并且由于其特殊的節(jié)點構(gòu)造，潔凈室的壁板可以隨時調(diào)整位置， 以此改變房間的布局。 同時如果房間的潔凈度需要調(diào)整， 可以通過增減FFU 數(shù)量的方法來實現(xiàn)。 這對于通常集中送風(fēng)的凈化系統(tǒng)來說幾乎是不可能的。

2、 出風(fēng)均勻穩(wěn)定

FFU 因自帶風(fēng)機， 出風(fēng)均勻而穩(wěn)定。 避免了集中送風(fēng)系統(tǒng)各送風(fēng)口風(fēng)量平衡的問題。 對于垂直單向流無塵車間尤為有利。

3、 節(jié)能顯著

FFU 系統(tǒng)風(fēng)管很少， 除新風(fēng)以風(fēng)管送達外， 大量的回風(fēng)以小循環(huán)的方式在運行， 因此大大減少了風(fēng)管的阻力消耗。 同時由于 FFU 的面風(fēng)速一般為 0.35~0.45m/s,過濾器阻力小,FFU 的無殼風(fēng)機功率很小,新型的FFU 采用了高效率電動機,同時對風(fēng)機葉輪形狀也進行了改進,其綜合效率以大為提高。 據(jù)筆者估算， FFU系統(tǒng)一般可比集中送風(fēng)的凈化系統(tǒng)節(jié)能 30%以上， 使 FFU 系統(tǒng)在二、 三年內(nèi)就可通過節(jié)省電費把增加的初投資部分（與集中送風(fēng)的凈化系統(tǒng)相比）省回來。

4、 節(jié)省空間

因省去了巨大的送回風(fēng)管， 故可節(jié)省安裝空間。 對于層高緊張的改建項目非常合適。 帶來的另一個好處因風(fēng)管很少空間相對寬敞而使工期縮短。

5、 風(fēng)口、 燈具、 煙感、 噴淋、 靜電中和器等的合理布局這些潔凈室常用裝置都在上有各自的安裝天花板格子位置， 既合理又美觀。 而在集中送風(fēng)的凈化系統(tǒng)里這些裝置的布局經(jīng)常沖突， 吊頂顯得擁擠不堪。

6、 負壓密封

FFU 送風(fēng)系統(tǒng)的靜壓箱為負壓， 因此即使風(fēng)口安裝存在泄漏， 也是從潔凈車間向靜壓箱泄漏， 不會形成對潔凈室的污染。FFU 系統(tǒng)也有缺點： 風(fēng)機數(shù)量大， 故障機率大。 且因 FFU 布置在吊頂上， 維修有一定困難。 而集中風(fēng)系統(tǒng)因設(shè)備較為集中， 數(shù)量也少， 易于維護。 但這也不完全是缺點： FFU 系統(tǒng)正是因為數(shù)量眾多而分散，通常少量的 FFU 出現(xiàn)故障， 并不能對潔凈度造成嚴重的破壞。 甚至可以在對潔凈度幾乎沒有影響的情況下發(fā)現(xiàn)并修復(fù)故障單元。 而集中送風(fēng)系統(tǒng)只要一臺 AHU 出現(xiàn)故障， 就會造成大面積的潔凈室停止運行， 對生產(chǎn)的影響很大。 在幾乎所有的項目中， 冷凍機、 空壓機、 純水設(shè)備、 水泵、 真空泵搶救無效都可以做到備份， 盡量減少設(shè)備故障對生活的影響。 唯獨空調(diào)箱的備份幾乎沒用。 FFU 系統(tǒng)則在某種程度上達到了這個目的。

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