電子潔凈廠房裝修系統(tǒng)測試

2020-11-03 13:10 昆山清陽凈化系統(tǒng)工程有限公司

電子潔凈廠房裝修系統(tǒng)測試

隨著高科技電子相關(guān)產(chǎn)業(yè)之蓬勃發(fā)展，潔凈廠房裝修已成為電子半導(dǎo)體制程工業(yè)、精密切削、生化科技、醫(yī)療及食品工業(yè)等不可或缺之重要部分。

潔凈廠房裝修測試項目簡述

FFU 風速測試

目的：測量C/RHEPA 下方平均風速是否合乎標準要求，以利C/R 內(nèi)Airflow 達到平行性及均一性。

測量點：每個1170* 1170mm HEPA 測4 點取其均值。測量步驟：a.預(yù)先調(diào)整馬達之轉(zhuǎn)速，使符合ULPA 之出風速度。b.C/R 內(nèi)之FFU 全部運轉(zhuǎn)，天花盲板應(yīng)全部蓋上，各區(qū)域隔間皆需完成。c.將風速Sensor 固定于移動支撐架上方，高度調(diào)整至距HEPA 下方 75MM 處。d.移動Sensor 至待測HEPA 下方測量點位置，待穩(wěn)定后取5sec 風速平均值。e.打印記錄值及計算平均值。

測量標準：a.單點均值 0.35m/S±20%。b.每只HEPA 平均風速0.35m/S±20%。

FFU 泄漏測試

目 的：檢測每只filter 過濾性能。

測試點：每只filter 下方約 2.5cm 位置以 5cm/sec 之速度移動。

潔凈廠房裝修后測量步驟：a.C/R 內(nèi)之送風系統(tǒng)全數(shù)運轉(zhuǎn)，且建立正壓，內(nèi)部清潔完成后，循環(huán)運轉(zhuǎn)24 小時以上。b.將PARTICLE COUNTER 暖機并完成基本參數(shù)設(shè)定。c.開始量測filter 下方之PARTICLE數(shù)量。掃描泄漏時，若該點連續(xù)出現(xiàn)particle 則判定為泄漏。掃描中若出現(xiàn)第一顆particle，應(yīng)停留該點判斷是否連續(xù)出現(xiàn)，若非連續(xù)則為HEPA 表面或環(huán)境之particle，如大于5 顆則該片重測。有泄漏之HEPA 在漏處貼上卷標及數(shù)據(jù)域內(nèi)記錄泄漏、編號、位置。破損面積＜3%；長度＜1.5”  可修補；大于此值則更換。

測試標準：每只filter 不得有泄漏。

潔凈廠房潔凈度測試

目 的：測量C/R內(nèi)之清凈度度是否達到標準要求。

測量點：a.量測高度為距地板1.0m；或特定之工作高度。b.各 區(qū)域量測點數(shù)： CLASS 10：每房間面積平方根取測量點；CLASS 100：每房間面積平方根取測量點；CLASS1000/10000：每房間面積  平方根取測量點測量。

測量步驟：a.C/R 內(nèi)之FFU 全數(shù)運轉(zhuǎn)，且建立正壓，內(nèi)部清潔完成后，循環(huán)運轉(zhuǎn)24 小時以上，且人員物料進入C/R 需管制、清潔。b.將PARTICLE COUNTER暖機并完成基本參數(shù)定。c.將儀器測試管固定于三腳架上。d.統(tǒng)計平均值，判斷是否合乎無塵室之要求。

測試標準 ：a.CLASS 10：≧ 0.3üm 小于 10 顆 /ft3 ； b.

CLASS100：≧0.5üm 小于100 顆/ft3 ；c. CLASS1000：≧0.5üm 小于 1000 顆 /ft3 d. CLASS 10000： particle size≧ 0.5üm 小于10000 顆/ft3。

潔凈廠房室內(nèi)靜壓測試

目的：測量無塵室對鄰室；無塵室對大氣之間壓差是否符合準。

測量點：每ROOM 至少取1 點測量點。

測量步驟：a.必須完成風速與氣密測試合乎設(shè)計要求；確認自動控制之MAU  及制程排氣系統(tǒng)開始正常運作才可進行。b.進行量測時間內(nèi),門必須關(guān)閉及管制。c.C/R內(nèi)為高壓端，外氣或次等級之鄰室為低 壓d.   進行量測前，儀器需先做現(xiàn)場歸零校正后再進行測量。e.實際測量，量取數(shù)次，取平均值并記錄之。f.  不合規(guī)格者，通知施工組配合改善后重測。

測試標準：a.不同無塵室等級之壓差不小于+5pa。b.一般區(qū)域 與無塵室區(qū)域之壓差不小于+12.5pa。

室內(nèi)溫濕度測試

目的：測量C/R內(nèi)之溫度、相對濕度是否達到要求。

測量點：測量點為1 點/100m2 或2 點/ROOM。

測量步驟：a.潔凈廠房裝修空調(diào)系統(tǒng)在自動控制狀態(tài)下，連續(xù)運轉(zhuǎn)24  小時以上。測量前，無塵室空調(diào)之試車調(diào)整需已完成。b.每個點的測量 時間為溫度 10 sec，濕度 10 sec。c. 測量時，人員應(yīng)避免直接碰觸Sensor，以免造成量測誤差。d.測量時，需等到Sensor   達穩(wěn)定后，才可取值。e.每一室至少取一點。

測試標準：依合約及標準規(guī)范設(shè)計要求。

黃光 10 級區(qū)域溫度 22℃±1，其它溫度 22℃±2，微波區(qū)濕度

45%±5.LED 區(qū)50%±5。

噪音測試

目的：測量C/R內(nèi)之噪音產(chǎn)生值。

測量點：a.按房間面積為 1 點/40m2。b. 每個獨立房間皆需測量。c.量測點的高于無塵室地板上方1.0m。

測量步驟：a.依據(jù)測量點將噪音計架設(shè)完成及開始測量。b.每一 點之測量時間22sec 并讀取dB 平均值并記錄之。

測量標準：噪音值按相關(guān)潔凈室標準。

照度測試

目的：測量C/R內(nèi)之照度是否合乎標準要求。

測量點：a.按房間面積/50m2 為 1 點。b. 每個獨立房間皆需測量。c.量測點的高于無塵室地板上方1.0m。

測量步驟：a.取照度儀于離地1.0M 處待測試數(shù)據(jù)穩(wěn)定值。b.測量及記錄測量值。c.計算每區(qū)域之平均照度。

測試標準：依合約規(guī)范設(shè)計要求。本工程照度應(yīng)按發(fā)包圖面布 置要求大于：600LUX，500LUX，400LUX，300LUX。

平行度測試

新風及排風測試

結(jié)論

經(jīng)過現(xiàn)場系統(tǒng)調(diào)整及實際測量，符合潔凈廠房裝修相關(guān)要求，取得業(yè)主認可。